NF3是电子工业使用的一种新型蚀刻气体，使用量和废气排放量逐年上升。其温室效应潜值高达 17200，存留时间约740年。为了引起世界各国对NF3危害性的认识，2008年联合国环境大会将NF3增列为限制排放的温室气体。因此，有效消除工业过程排放的NF3废气是一件有意义的工作。无水条件下 NF3 与一些金属氧化物反应而分解，生成的金属氟化物是有用的化学品，且不产生腐蚀性气体 HF，操作简单，是分解 NF3 废气的经济实用方法。
在前期工作（Journal of Environmental Chemical Engineering, 2019, 7, 103192; 2020, 8, 103890; 2020, 8, 104166）基础上，近日徐秀峰教授团队合成了薄片形貌 Al2O3@Mn2O3复合固氟剂，用于分解NF3，显著加快了 NF3气体的扩散与反应，提高了固氟剂活性和利用率。研究结果以“Destructive sorption of NF3 as a novel greenhouse gas over Al2O3@Mn2O3 sorbents with high surface area”为题，发表在Process Safety and Environmental Protection。有关工作为制备高活性高利用率NF3分解固氟剂提供了有益的启示。
该工作第一作者为我院2020级硕士研究生王丽梅，通讯作者为徐秀峰教授。上述工作得到了山东省自然科学基金（重点项目）、烟台市科技创新发展计划（科技领军人才项目）的资助。（文、图/王丽梅、徐秀峰）
文章链接：https://doi.org/10.1016/j.psep.2022.04.069
